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硫酸是常見的基礎化學品,在半導體製程中卻是晶圓清洗與去除光阻的重要材料,隨著先進製程微縮,晶圓廠對化學品的純度與品質穩定性要求提高,純度更高的電子級硫酸逐漸成為具有技術與客戶認證門檻的關鍵材料。
中華化近年轉型投入高純度電子級硫酸,將產品應用延伸至半導體先進製程中,隨著電子級硫酸新產線逐步切入先進製程供應鏈,加上與台塑集團合資擴產,從既有化工業務往高階的半導體材料市場邁進,成為未來新的營運成長機會。
中華化(市:1727)成立於 1956 年,早期以基礎化學品為主,目前業務延伸為基礎化學品、特用化學品與電子化學品三大類,基礎化學品主要應用於工業製造與水處理;特用化學品涵蓋高頻樹脂、工程塑膠材料等;電子化學品則包括半導體級硫酸、顯影液與蝕刻液等製程材料。

從產品結構觀察,中華化正逐步降低傳統基礎化學品的比重,電子化學品則成為推動營收成長的重要來源,反映公司正從傳統化工產品轉向技術與客戶認證門檻更高的半導體材料市場,而公司經營團隊目前已由第二代接掌,主要股東合計持股約四成,股權結構相對集中,經營策略具有一定的延續性。
中華化產品比重中,基礎化學品比重降低,電子級化學產品比較逐漸拉高
硫酸廣泛應用於化肥製造、金屬酸洗及石化等工業領域,在電子產業中,也用於 PCB 的銅表面處理與電鍍製程,不同用途對硫酸濃度與品質要求各有差異,一般工業級硫酸可依製程需求調整濃度,部分金屬雜質則以 ppm(百萬分之一)等級衡量。
相較之下,半導體製程對硫酸的純度要求更加嚴格,尤其是先進製程使用的高規格電子級硫酸,特定金屬雜質甚至須控制在 ppt(兆分之一)等級,根據中華化與合作廠商共同申請的高純度硫酸專利,其技術規格已涵蓋特定金屬雜質低於 10 ppt 的要求,但實際供貨標準仍須依各家晶圓廠的製程需求與認證結果而定。
source : 專利書
在半導體製程中,電子級硫酸可用來去除晶圓表面的光阻及部分蝕刻後的有機殘留,由於這些